早期的工业超纯水设备采用的是离子交换技术，主要应用于造纸工业、医药化工以及发电等领域，这些领域对于用水的要求不高，以前用的工业水处理设备会出现化学药剂再生的情况，而且树脂对于部分的有机分子其去除的效率差。
随着工业发展的需求，众多的工业对于用水的要求可谓是越来越高，这也促进了水处理技术的发展，下面讲解关于工业用的超纯水设备。
工业用的超纯水设备根据用户的用水水质要求可采用不同的水处理工艺(反渗透水处理、超滤、电渗析、微滤)等，必要时还需进行技术的相结合。
原水在进入设备之前会先进行一次水的预处理，主要目的是为了去除水中含有的大颗粒物质以及延长设备的使用寿命。
水的预处理：可采用石英砂过滤器、活性炭过滤器、澄清的方式去除水中含有的有机物以及悬浮物胶体来达到降低水中的SDI、COD、降低浊度等。
进水的原水可以是地下水、自来水、地表水，原水在进行预处理之后，再进到精密过滤器过滤，经过高压泵加压后就可以输送至一级反渗透系统，以此类推，从一级反渗透系统出来到水在送至二级高压泵加压送至二级反渗透系统。
采用的水处理技术主要根据用户对于用水的水质要求来确定。
超纯水设备有时候为了保证出水的水质，可将EDI模块代替混床深度脱盐，这样处理可以达到不会出现二次污染的情况。
