透射电镜液体光学原位系统采用MEMS微加工工艺在原位样品台内构建液氛纳米实验室，通过样品台内置的光纤将光作为外场条件搭载其上，通过MEMS芯片和光纤引入的光源对样品施加光场刺激条件，在进行光学性质测量的同时，结合使用EDS、EELS、SAED、HRTEM、STEM等多种不同模式，实现从纳米甚至原子层面实时、动态监测样品在液氛环境中随光场变化产生的微观结构演化、反应动力学、相变、元素价态、化学变化、微观应力以及表/界面处的原子级结构和成分演化等关键信息。
实验中，样品被密封在超薄氮化硅薄膜覆盖的液体池内，池内可以承载一个大气压。芯片电极联通外接电路，从而在中搭建一个液体-电化学测试环境。
透射电镜液体光学原位系统采用的技术有：
1、高分子膜面接触密封技术，相比于o圈密封，增大了密封接触面积，有效减小渗漏风险。
2、纳流控技术，通过压电微控系统进行流体微分控制，实现纳升级微量流体输送，原位纳流控系统及样品杆中冗余的液体量仅有微升级别，有效保证电镜安全。
3、超高温镀膜技术，芯片视窗区域的氮化硅膜具有耐高温低应力耐压耐腐蚀耐辐照等优点。
4、多场耦合技术，可在液相环境中实现光、电、热、流体多场耦合。
