迷你台棱镜半自动超高温实验反应釜的特点
迷你工作台增加了PLC自动序列以提高
可操作性[迷你工作台棱镜（迷你工作台棱镜）]
| 真空置换炉 | 最高2000°C |
|---|---|
| 还原气氛炉 | 最高2000°C |
PLC半自动控制 自动顺序控制（手动调节气体流量→针阀）
半自动控制型电炉操作的自动顺序控制 台式型号 “抽真空”和“排气
” Mini-BENCH监测冷却水异常、腔室温度异常和超压异常。 由SUS坚固的水冷室制成，即使在最高温度下连续使用也可以安全使用。
节省空间：603（阔）x 603（深）x 1，170（高）mm
PLC半自动操作：（抽真空/吹扫x 3循环排气）
联锁（冷却水、腔室表面温度/加热器过温、真空度、腔室打开/关闭）
圆柱形加热器（用于坩埚）、平面加热器（用于晶圆烧制）
工作气氛：真空、惰性气体、还原性气氛
| 真空和气体置换炉（碳炉） | 还原气氛炉（金属炉） | |
|---|---|---|
| 最高工作温度 | 最高2000°C | |
| 加热器 | 石墨或C/C复合加热器 | 钨加热器 |
| 绝缘 | 石墨毡材料 | 钨屏蔽层，氧化铝绝缘 |
| 真空室 | SUS304水冷夹套结构，顶部装载，线性驱动可打开（Φ3，仅4英寸） | |
| 使用氛围 | 在真空或惰性气体（Ar、N2）中 | 在真空中，惰性气体（Ar，N2），还原气体（H2等） |
| 有效加热范围 | Φ1“~ Φ4”（用于晶圆片进料烧制的平面加热器），或 -Φ80 x 深度 最大100 （H） mm （圆柱形加热器） | |
| 极限真空度 | 1x10-2 帕斯卡（* 用于空炉） | |
| 真空泵 | 旋转泵（可选：干泵、高真空泵） | |
| 热电偶 | 包括C型热电偶 | |
| 联锁 | 腔室表面温度、加热器超温、冷却水减少、腔室打开和关闭 | |
| 公用设施和冷却水 | 加热器额定值最大 6KVA（* 取决于加热范围尺寸），冷却水 3 升/分钟 0.4Mpa | |
平面加热丝（用于晶圆）：C / C复合材料（或钨）
圆柱形加热丝（用于坩埚）：C / C复合材料（或钨）
* 根据加热范围的尺寸，通过组合平面加热器和圆柱形加热器，可以在整个坩埚中均匀加热。
