半导体器件用溶解臭氧监测仪 HZ-960介绍
溶解臭氧监测仪HZ-960连续监测半导体器件、液晶和玻璃湿法处理过程中使用的臭氧水中溶解臭氧的浓度。
产品特点
广泛的测量范围
可选配管尺寸 除了
标准的 3/4 英寸外，还提供 1/2 英寸和 1 英寸。
远程校准功能 对于
在线使用，有一个带有外部输入的远程校准功能。 可以通过自诊断功能监控错误情况。
高重复性和稳定性精度 在满量程 ±0.2%
以内的重复精度
规格
| 产品名称 | 溶解臭氧浓度监测仪（变送器） | |||
|---|---|---|---|---|
| 型 | HZ-960 | |||
| 兼容的探测器 | ZH-10、ZH-40、ZH-100、ZH-500 | |||
| 测量对象 | 纯水中的臭氧浓度 | |||
| 权力 | 直流 24 V ±10% 15 W | |||
| 结构 | 面板安装室内型 面板外壳：ABS，端子部分：PBT 面板部分：防滴结构 | |||
| 防护结构 | 面板部分： IP65 （IEC60529， JISC0920） 后壳： IP20， 端子部分： IP00 | |||
| 合规标准 | CE标志 | 电磁兼容指令：EN61326-1 | ||
| 美国联邦通信委员会规则 | FCCPart15 | |||
| 外部尺寸 | 96（宽）×96（高）×115（深）毫米，外壳深度：约105毫米（面板安装） * 检测器：ZH-XXX 系列的外形尺寸取决于型号，因此请单独讨论。 | |||
| 质量 | 约 550 g *检测器： ZH-XXX 系列 约 2 公斤 | |||
