目前电感耦合等离子体发射光谱仪主要用于微量元素的分析，可分析的元素为大多数金属以及硅、磷、硫等少量非金属，广泛应用于质量控制的元素分析。它不仅可以对超微量元素进行检测，还可以对常量元素进行检测，成为分析仪器领域越来越强有力的研究工具。
电感耦合等离子体发射光谱仪的优点：
1.分析速度快 一分钟最快分析15个元素以上
2.精密度高 相对标准偏差RSD≤1.5%
3.稳定性好 相对标准偏差RSD≤2.0%
4.检出限低 μg∕L
5.分析元素多 可对70多种元素进行定量分析
6..操作便捷 全新Windows运行环境功能齐全
目前电感耦合等离子体发射光谱仪的分析过程主要分三步，即激发、分光和检测。其一，激发光源使试样蒸发汽化，离解或分解为原子状态，原子也可能进一步电离成离子状态。原子及离子在光源中激发发光；其二，利用分光器把光源发射的光色散为按波长排列的光谱；其三，利用光电器件检测光谱，按所测得的光谱波长对试样进行定性分析，或按发射光强度进行定量分析。
