什么是超高真空测量单元3B-Gauge？

为了准确测量低于10-9 Pa（高真空）的压力，需要一种高性能的测量设备，可以测量比要测量的压力低几个数量级的压力。 迄今为止市场上的高真空测量装置的测量极限约为10-10Pa，因此有必要密切关注剩余电流值。 剩余电流值仅1~2%的变化就可能导致压力测量误差在10-9Pa范围内为±10%，在10-10Pa范围内±100%以上。

但是，很难知道大多数真空设备在压力读数中存在较大的误差。 此外，在测量极限附近有两种类型的误差：ESD（电子刺激解吸）和除气，当误差因测量元件灵敏度的变化而波动（软X射线效应）和误差因剩余电流波动而波动时。 一般来说，前者往往具有更大的影响，因此显示的压力比实际低-10%或-100%。 由于很难轻易产生超高真空，因此显示低真空度可能会由于不正确的报告或判断而导致问题，在某些情况下会导致巨大的损失。

作为此类问题的直接对策，可以通过充分利用电子技术来纠正剩余电流的校正。 然而，由于X射线限值、ESD离子、释气等需要广泛而详细的考虑，因此经常进行此类校正既耗时又不切实际。 此外，10-9 Pa 或更低的压力测量需要测量飞安 （fA） 范围内的极小电流，并且必须考虑电子方面的性能。

处理超高真空测量复杂问题的简单，有效的方法是使用具有足够低剩余电流的高性能测量设备，并且可以通过通用静电计或现有的真空计控制器进行充分测量。

为了应对这种情况，3B-Gauge是一款具有以下革命性性能的新产品，改善了过去30年来超高真空测量中仍然存在的问题。