真空元件在低于大气压环境中工作的元件称为真空元件，由真空元件所组成的系统称为真空系统。真空系统易于实现自动化，系统的真空是依靠真空发生装置产生的。
1，真空发生器带消声器的真空发生器，根据喷射器原理产生真空。当压缩空气从进气口 P流向排气口 S时，在真空口 U上产生真空。吸盘与真空口连接。如在进气口无压缩空气，则抽真空过程停止。
2，真空发生器的特点 结构简单，体积小，使用寿命长；产生的真空度 （负压力）可达 88kPa，吸入流量不大，但可控、可调、稳定、可靠；瞬时开关特性好，无残余负压。
3，真空吸盘是直接吸吊物体的元件，是真空系统中的执行元件。 吸盘通常是由橡胶材料和金属骨架压制而成的。制造吸盘的材料通常有丁腈橡胶、聚氨酯橡胶和硅橡胶等，其中硅橡胶适用于食品行业。常用真空吸盘；圆形平吸盘适合吸表面平整的工件。波纹吸盘采用风箱型结构适合吸表面突出的工件。吸盘依靠螺纹直接与真空发生器或真空安全阀、真空负压气缸相连。
