冷镜露点仪的基本工作过程：被测量气体通过露点测量室时掠过冷镜面，当镜面温度高于该气体的露点温度时，镜面呈干燥状态，此时，发光二极管发出的光照在镜面上，几乎全部反射，由光电传感器感应到并输出光电信号，经控制回路比较、放大，驱动热电泵，对镜面制冷，当镜面温度降至样气的露点温度时，镜面上开始结露（或霜），光照在镜面上后出现漫反射，光电传感器感应到的反射光信号随之减弱，此变化经控制回路比较、放大后调节热电泵激励，使其制冷功率减小，这样通过自动控制使冷镜面上的露（或霜）与气体中的水蒸气呈相平衡状态，此时通过镜面冷凝状态观察镜，可以判断镜而上的冷凝物是液态的露（呈圆或椭圆形）还是固态的霜 （ 呈晶形），镜面温度由一紧贴在冷镜面下方的铂电阻温度传感器感应，准确测量出镜面的温度（即露或霜层的温度），从而获得气体的露点温度。使用中的问题：
镜面污染对露点测量的影响
在露点测量中，镜面污染是一个突出的问题，其影响主要表现在两方面：一是拉乌尔效应，二是改变镜面本底散射水平。
拉乌尔效应是由水溶性物质造成的。如果被测气体中携带这种物质（一般是可溶性盐类）则镜面提前结露，使测量结果产生正偏差。若污染物是不溶于水的微粒，如灰尘等，则会增加本底的散射水平，从而使光电露点仪发生零点漂移。
一般说来，工业流程气体分析污染的影响是比较严重的。但即使是在纯气的测量中镜面的污染亦会随时间增加而积累。 为了消除污染的影响，人们摸索出各种各样的方法。直观的方法是对被测气体进行过滤。
