一、测量显微镜是采用用透、反射的方式对工件长度和角度作精密测量。特别适用于录像磁头、大规模集成电路线宽以及其它精密零件的测试仪器。广泛地适用于计量室、生产作业线及科学研究等部门。工作台除作X、Y坐标的移动外，还可以作360度的旋转，亦可以进行高度方向做Z坐标的测量；采用双筒目镜观察。
二、主要优点：小巧便携，只需一台计算机就可以直观的观测微观放大图像，进行精确数据测量、拍照备份图片及数据资料;还可以根据客户需要定制特种光源(荧光、红外)用于特殊场所观测。数码测量显微镜几年来得到广泛的普及使用，已成为一种可靠实用的精密测量仪器。
三、以裂像聚焦指示器为测量原理,采用高精度光学聚焦点检测方式进行非接触高低差测量。不仅可以对准目标影像,还能观察测量点的表面状态,对高度,深度,高低差等进行测量。本仪器的各种镜筒还具有明暗场，微分干涉，金相，偏光等多种观察功能。所以对极细微的间隙高低差，夹杂物、微米以下的突起、细微划痕、以及金相组织进行观察。
四、AFM的图像也可以使用“恒高”模式(ConstantHeightMode)来获得，也就是在X，Y扫描过程中，不使用反馈回路，保持针尖与样品之间的距离恒定，通过测量微悬臂Z方向的形变量来成像。这种方式不使用反馈回路，可以采用更高的扫描速度，通常在观察原子、分子像时用得比较多，而对于表面起伏比较大的样品不适用。
