热式质量流量计一般用来测量气体的质量流量。具有压损低;流量范围度大;高精度、高重复性和高可靠性;无可动部件以及可用于较低气体流量监测和控制等特点。
热式质量流量计采用热扩散原理，热扩散技术是一种在*刻条件下性能优良、可靠性高的技术。热式质量流量计有两个温度传感器被置于介质中时，其中一个传感器被加热到环境温度以上的的温度，另一个温度传感器用于感应介质温度。介质流速增加，介质带走的热量增多，两个温度传感器的温度差将随介质的流速变化而变化，根据温度差与介质流速的比例关系，可得出流体的流量Q。热式质量流量计目前绝大部分用于测量气体，只有少量热式质量流量计用于测量微小液体流量。
热式质量流量计压力损失小，只需与流量传感器配套使用，形成固定流量计，工作过程中损坏或故障少，是实用流量计，可测量低流量或小流量，管道污垢或杂质无关，热质量流量计能准确测量流量，压力损失不大，方便快捷。当使用热质流量计测量气体时，气体的比热容量会随着压力温度的变化而变化，但所使用的温度压力附近的小变化可视为常数。
