X射线镀层测厚仪物质经X射线或粒子射线照射后，由于吸收多余的能量而变成不稳定的状态。从不稳定状态要回到稳定状态，此物质必需将多余的能量释放出来，而此时是以荧光或光的形态被释放出来。荧光X射线镀层厚度测量仪或成分分析仪的原理就是测量这被释放出来的荧光的能量及强度，来进行定性和定量分析。注意点：
1）循环水。循环水恒温设备主要给射线源提供相对恒定的温度环境。射线源的温度波动将直接导致射线能量的变化，致使测量结果波动。循环水温度一般设定在 20℃ ±1℃。注意检查循环水的回水流量、水温是否正常。
2）压缩空气。压缩空气的用途主要是吹扫射线束内的杂物、油雾等，如果压力不足，会使吹扫效果下降，影响测量结果。还有的测厚仪使用气缸驱动标样和快门。巡视设备时应检查空气压力是否符合设计要求，滤芯是否需要更换。
3）C型架上告警灯的状态。告警灯的状态应正确，否则说明测厚仪存在某种故障。从安全的角度考虑，即使确认测厚仪没有功能上的故障，仅仅是灯泡损坏，也应及时更换，以防止意外的辐射伤害。
