探针台是半导体行业重要的检测装备之一,其广泛应用于复杂、 高速器件的精密电气测量,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。位移探针台可以在测试准备和测试过程中准确移动探针位置,实现微米级别的电极接触;同时探针前端可调整角度和长度,从而适应样品范围更加广泛。
位移探针台用途:
1.用于光刻器件的高低温光电测试;
2.用于IV、介电常数、霍尔效应、射频、低温电路等测试;
3.可拓展低温温控和真空管路模块,实现液氮温度测量。
探针台可以固定晶圆或芯片,并准确定位待测物。探针台的使用者将探针臂和探针安装到操纵器中,并使用显微镜将探针*端放置到待测物上的正确位置。一旦所有探针*端都被设置在正确的位置,就可以对待测物进行测试。可以将电探针、光学探针或射频探针放置在硅晶片上,从而可以与测试仪器/半导体测试系统配合来测试芯片/半导体器件。