国内光伏行业普遍使用的PECVD设备是由德国Ruth&Rau公司提供的。如常州天合， Ruth&Rau公司国内目前重要的zui终用户。
Ruth&Rau的PECVD设备上装配的压力计多为MKS的626B13TDE和627D01TDC1B，流量计多为1179B （SiH4，NH3），这些产品均为MKS德国工厂所生产，所以在价格上面会比较高。而国内本土的PECVD设备商，如七星华创、中电48所，选配的压力 计除MKS的626B和627D外，也有INFICON电容薄膜规：CDG025D，相对MKS产品价格要便宜一些。两者的区别（以CDG025D和 626B为例）主要体现在量程跨度和精度上面；626B的量程可以跨越105量级，如一般用的满量程为10Torr的，zui小可以测到10-4Torr，对应INFICON满量程10Torr的CDG025D，其zui小可以测到10-3Torr。不过，光伏行业的PECVD工艺通常真空度不会低于1Pa，常用在50-300Pa，所以，两者都可以满足。
在精度方面626B的精度为0.25%，CDG025D的精度为0.2%，CDG025D略高一些，不过相差不大，可相互替代。MKS的627D是加热型电容薄膜规，精度为0.12%，与INFICON的CDG045D类似，不过这2款的价格要高很多。
流量计方面，除了MKS的1179B系列以外，为节约成本，国内的设备商业找到想要的替代产品，如BROOKS，Horiba，日本山武，Alicat等 其他品牌可根据zui终用户的要求来选择，不过总体来说在PECVD的应用上，MKS的流量计用得zui多，性能zui稳定，。
