应用实例
光掩模检查前的中和
晶圆静电消除（防止电路损坏）
玻璃表面有机物去除（干洗）
涂装前表面改性（提高附着力）
镀前表面改性（精细镀层渗透）
电子基板的预贴合处理（提高附着力）
什么是准分子灯？
准分子灯是一种可以照射真空紫外光的光源，其发光原理和结构与传统的放电灯（汞灯、氙灯等）不同。
准分子灯产生波长为172 nm的真空紫外光（VUV），其光子能量比传统光清洁和改性中使用的汞灯（波长为185 nm和254 nm）更高。
它可以立即打开和关闭，不需要空转。
扁平型
| 半导体 | QEF-300SPC | QEF-230SPC | QEF-160 | QEF-100 | QEF-35ST | QEF-35ST-V126 |
| 波长 | 172纳米 | 126纳米 | ||||
| 公用事业 | 氮气/冷却水/AC100-240V | |||||
| 分配 | ±5% | ±7% | ||||
| 照射孔径 | φ332mm | 218×218毫米 | 167×167毫米 | φ100mm | φ35mm | φ35mm |
| 兼容的工作尺寸 | 12英寸 | 8英寸 | 6寸 | 4英寸 | – | – |
| 照度（最大窗口表面） | 80毫瓦/平方厘米 | 80毫瓦/平方厘米 | 30毫瓦/平方厘米 | 30毫瓦/平方厘米 | 5毫瓦/平方厘米 | 5毫瓦/平方厘米 |
| 平面显示器 | QEF-1600 | QEF-600 | QEF-320 |
| 波长 | 172纳米 | ||
| 公用事业 | 氮气/冷却水/AC100-240V | ||
| 分配 | ±10% | ||
| 照射孔径 | 70×1570毫米 | 70×620毫米 | 70×312毫米 |
| 兼容的工作尺寸 | G6 | G3 | – |
| 照度（最大管面） | 180毫瓦/平方厘米 | 180毫瓦/平方厘米 | 100毫瓦/平方厘米 |
管型
| 半导体 | QEV-360 | QEV-230 | QEV-160 |
| 波长 | 172纳米 | ||
| 公用事业 | 氮气/冷却水/AC100-240V | ||
| 分配 | ±15% | ||
| 照射孔径 | 340×340毫米 | 216×216毫米 | 176×176毫米 |
| 兼容的工作尺寸 | 12英寸 | 8英寸 | 6寸 |
| 照度（最大窗口表面） | 15毫瓦/平方厘米 | ||
| 平面显示器 | QEV-1200 | QEV-850 | QEV-750 | QEV-150 |
| 波长 | 172纳米 | |||
| 公用事业 | 氮气/冷却水/AC100-240V | 氮气/AC100~240V | ||
| 分配 | ±15% | |||
| 照射孔径 | 25×1200毫米 | 25×850毫米 | 25×750毫米 | 25×172毫米 |
| 兼容的工作尺寸 | 宽度1200mm | 宽度850毫米 | 宽度750毫米 | 宽度150毫米 |
| 照度（最大管面） | 50毫瓦/平方厘米 | |||
