光隙法是指通过用眼睛观察实际间隙的可见光隙量的多少来进行判断间隙的一种测量方法。用光隙法测量见光隙范围是小于0.03mm的间隙。光隙法由于操作方便，且测量准确度较高，在计量检定、校准和长度测量中应用很广。
标准光隙是由量块、样板直尺和平晶（或 平板）组成。先将量块研合在平晶工作面上, 首末两块量块的尺寸应相同，其余量块尺寸根据所需实际间隙选择，刀口直尺的刀刃和量块接触，形成标准光隙，如果被测件的实际间隙处于标准光隙0. 002与 0. 004mm之间，则可断定被测件的平面度偏差在 0. 003mm左右。光隙法主要应用于以刀口形直尺为标准，检定（或校准）量具的直线度、平面度；仪器 工作台的平面度以及直角尺的垂直度等检定。在车间和计量室广泛用于利用标准样板（如 半径样板、螺纹样板）来测量或检验工件的形状误差。光源和照度直接影响光隙法测量的准确度。光源以平行光最适宜，因此一般用日光灯为宜。光源的亮度必须比观察者一方强，其照度一般以8001x比较适当。当采用日光灯时，光源与工件的距离为90mm左右。如釆用点光源时，光源应略高于间隙的水平位置，这时，间隙最清晰。如果能采用如图1 — 5所示的检定装置效果更好。
光隙法测量的存在不确定度，影响光隙法测量准确度的因素除光源的形式、照度和距离以外，与接触面的断面形状、宽度、表面粗糙度以及被测件的颜色、底衬有关。另外，当光隙很小时，由于光的干涉和衍射现象，就会产生彩色条纹，会使光隙大小的估计带来影响。因此，应根据不同的情况进行判断。经验对测量结果的影响也很重要。需要不断地实践，总结经验。
