氯气微量水分析仪的作用主要是用于监测和控制氯气在工业生产过程中的水分含量，以确保产品质量和生产安全。其分析原理是根据“法拉第点解定律”，即电解电量和电解的样品中水分含量成正比。通过测定液氯全气化后被电解水分所消耗的电量，即可确定液氯中水分含量。氯气微量水分析仪的分析方法主要为五氧化二磷传感器法。
五氧化二磷传感器利用电解水分子为氢气与氧气原理，此传感器由一个玻璃材质的圆柱和两根并行的电极组成，根据具体应用来选择电极材质(通常由铂或铑金属丝制成)，并在两根电极之间涂有很薄的一层磷酸H3PO4膜层，在两电极之间出现的电解电流，使酸中的水分分解为H2和O2，此过程的最终产物是五氧化二磷，P2O5是高吸湿性物质，因此从样气中吸收水分，通过连续的电解过程，在样气的水分含量与电解后的水分之间建立平衡，电解电流与样气中水分含量成比例，信号经过仪器内部信号放大器处理，然后显示数据并读出。
此方法适合分析Xe、Ar、Kr、He、D2、F2、N2、H2、O2、O3、HBr、PH3、SF6、Freon、C2H2、CO2、CH4、Natural gas，尤其适合高纯酸气如Cl2、HCl、SO2、H2S 等气体微量水分测量（极少数会同磷酸发生化学反应的气体除外）。
