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2023/10/18 10:01:08离子泵是Hapsite真空系统的重要组成部分,主要去除质谱腔体里的惰性气体,如:氦、氖等气体。
平时开机时会碰到离子泵打不开或启动失败的情况,可以按以下操作检查:
1, 重新启动仪器2-3次,查看能否打开离子泵。
2, 查看调谐报告,确认BCT近一次开机调谐时间。如果当下开机大于三个月时间,
需要考虑使用服务模块烘烤维护仪器。
3, 加载Hapsite在服务模块上,抽真空2小时后,如果仪器不能运行方法,
可能是离子泵故障,此时需要联系工程师。