超景深显微镜,是一种连续变倍的光学显微镜,景深比较大是它的特色,在它的景深范围内都能清晰地看到检测对象,检测视域范围更广,工作距离更长,还能进行3D测量,是集光学技术、光电转换技术及电子显示技术于一体的产品。
超景深显微镜是一种新的显微镜技术,其大的特点就是可以在深度方向上实现超深度成像。与传统的显微镜不同,超景深显微镜能够穿透样本的厚度,显示出在靠近和离远镜片表面深度处的具体信息。这种技术基于光的波动性,通过特殊的算法处理和计算,使得图像具有高分辨率,为生物科学、材料科学、电子工程等领域提供了更加精密的研究工具。
如在在材料科学、半导体等领域中,白光干涉仪与共聚焦显微镜同为微纳检测的利器,但白光擅长亚纳米级光滑表面的检测,追求检测数值的准确;而共聚焦擅长微纳级粗糙轮廓的检测,能够提供色彩斑斓的真彩图像便于观察。
超景深显微镜会采用特殊的光源和照明系统,以此确保样品在较大的深度范围内得到均匀照明。其次显微镜会通过使用特殊的光学元件,例如透镜、液晶空间光调制器等等,以实现对光波前的编码,从而改变光的传播特性,这样可以在一定范围内增加景深,使不同深度的样品部分同时清晰可见。
另外超景深显微镜中的光学透镜系统中包含了一些特殊设计的元件,这些元件可以提升显微镜在深度方向的解析能力,涉及使用非球面透镜、多层透镜组合等等。