自动化晶圆处理 > 晶圆搬运 > 晶圆传输机批量-AHWT
产品
描述
桌上型自动批量晶圆转移工具。AHWT兼容高或低盒型运输料盒、加工料盒或金属料盒。料盒感测器、等速控制和传输臂推力监控使得AHWT非常可靠并且安全，是手动HWT系列的升级版。该 工 具 具 有 电 流 传 感 功 能 以 调 解 推力，当推力超过限制值时，可以调节缩回手臂。
规格
晶圆尺寸76, 100, 150, 200mm
电源要求220VAC 至 24VDC 3 安培 电源单独出售
吞吐量每小时 100 盒
重量35磅
附加信息
装运尺寸：19 × 9.5 × 12 英寸
