质量流量控制器是一种精确的测量和控制仪器，主要用于对气体或液体的质量流量进行精密测量与控制。它由一系列精密的部件组成，主要包括以下几个部分：
流量传感器：这是质量流量控制器的核心部件，用于精确测量流体的流量。流量传感器通常采用热式质量流量计，其原理是根据流体的质量流量与加热元件的热耗散之间的比例来测量流量。
流量调节阀：质量流量控制器通过调节阀来控制流体的流量。调节阀通常采用电动或气动方式进行驱动，可以根据控制信号或预设程序来调节阀门的开度和流量。
放大控制电路：质量流量控制器的放大控制电路将流量传感器的信号进行放大和调节，以便更好地控制流量。它通常包括放大器、滤波器、运算放大器等元件，以实现信号的放大、滤波和比较等功能。
分流器控制通道：分流器控制通道用于将流体分成两个或更多的分支流，以实现多个流量的同时控制。它通常由分流器、阀门、管道等组成，可以根据实际需要配置成不同的分流模式。
显示和控制系统：质量流量控制器通常配备有数字显示或模拟指示器，用于实时显示流体的流量和其它参数。同时，它还具有各种控制功能，如自动控制、手动控制、报警提示等。
此外，质量流量控制器还可能包含其他部件，如压力传感器、温度传感器等，以实现更精确的测量和控制。这些部件协同工作，共同构成了质量流量控制器这一精密仪器。
