氧化锆氧分析仪故障判断，尽管不同型号的直插式氧化锆氧分析仪具体结构不同，但基本原理和基本结构是相同的，因此故障判断的思路是相同的。下面说明故障检查判别的一般方法和步骤。
首先要判断探头恒温是否正常，检查池温，如果池温显示值为设定值(如750℃士10℃)，说明加热和温控系统正常，否则可能出现几种情况。
①池温偏差大于 10℃而小于20℃，例如在730~770℃范围内由于20℃的池温偏差对测量0~10%O2产生的大偏差小于0.15%O2，因此可以不进行调整。这种情况多由烟气温度波动过大造成。
②当池温显示值远高于设定值，例如850-900℃说明热电偶断路。因为转换器内设有断偶保护电路，一旦热电偶断路，它将产生一个毫伏信号代替热电偶信号，使池温显示偏高，并使加热电源断开以保护探头不至于被烧坏。此时虽然池温显示值为850~900℃，实际上电炉并未加热。测量热偶两端电阻（必须断开引线）可以证实这一点，热电偶正常电阻应小于200Ω。
③池温显示值为高于设定值的某一值，例如800℃，说明温控系统损坏，转入超温保护。在转换器内设有超温保护电路，当因某种原因炉温失控温度升到800℃时，转由超温保护电路进行温控。这种情况应检修。
④池温显示值低于650℃，首先应想到的是电炉没有加热，显示的池温是烟气温度。可能原因有炉丝烧断和温控系统损坏两种，此时测量加热炉丝电阻可以判明故障原因。
⑤新安装探头时，池温升不到750℃，可能原因有两个: a.烟速过大，探头冷却引起，可调大加热电压或在探头保护管外面包一层保温材料（如硅酸铝纤维或石棉布)； b.热电偶与外电极相碰，实际温度高，而指示温度低。这时需将热电偶退出1~2mm。
上面的介绍是以老式仪器为例，意图在于说明仪器硬件的功能，目前的新型产品中已有故障自诊断功能，可直接提示某些故障的原因和部位。
