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露点仪在半导体芯片生产中的应用

测量气体中的水蒸气露点温度的仪器叫做露点仪。露点仪因所使用的冷却方法和检测控制方法不同，可以分为多种类型。这里只介绍热电制冷自动检测露层的平衡式精密露点仪在半导体芯片生产中的应用。

露点仪在半导体芯片的生产工艺中起重要监测作用。半导体芯片的生产是在净化间内进行的。净化间规范往往包括相对湿度（RH）这一项，一年内控制点的范围从35%到65%，精度2%（70℃以下）湿度超标会影响产品质量及生产计划的完成。

在半导体芯片生产区，湿度不稳定，会出现很多问题。最典型的问题是烘干期延长，整个处理过程变得难以控制。当相对湿度高于35%时，元件易被腐蚀。此外，将显影液喷在芯片表面时，显影液迅速挥发，使芯片表面温度下降，致使水汽凝结在芯片表面。凝结水不但会影响显影特性，还会吸收到半导体内，这将导致膨化及其它质量缺陷，还必须增加一些不必要的工艺控制。

TK-100在线露点仪

过去 40 年来，Techne Keisaku Co., Ltd. 一直致力于湿度管理和测量设备（主要是露点计）。电容式（阻抗式）露点仪TK-100系列是Techne测量有限公司的主打产品，用于测量露点或水分含量。
TK-100在线露点仪是TK-100变送器、监视器和传感器电缆的一套，因此您可以轻松开始测量露点。