半导体专用显微镜的原理主要基于光学和电子显微镜的原理。主要利用聚焦光束之间的衍射、反射和散射等光学效应，通过观察探测光束的强度、波长和偏振等特性，反映出被研究材料的微观结构和性质。同时，某些半导体显微镜还具有元素分析的能力，如能谱分析和能谱成像。
一般来说，半导体显微镜可以分为光学显微镜和电子显微镜两类。光学显微镜通常使用白光、激光等光源产生的光束来照射样品表面，而电子显微镜则利用了高能电子束代替光束，并通过聚焦和干涉处理来提高其分辨率和灵敏度。
半导体专用显微镜的校准：
1.将一半导体显微镜物镜安装好，将0.01mm标准测微尺放在工作台上并压紧。
2.旋转调焦旋钮，将焦点调整在测微尺的中间，视场中心成像清晰。此时将千分表测头与工作台表面相接触并对好表的零位。
3.再次旋转调焦旋转，把焦点调整到测微尺的边缘，使视场边缘成像清晰。半导体显微镜观察千分表，其最大偏移量即为该物镜的场曲误差。
