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现场水中THAM四甲基氢氧化铵液体浓度检测方法

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2024/1/9 16:05:28

TMAH,全称为四甲基氨基氢氧化物(Tetramethylammonium hydroxide),是一种常见的有机胺盐碱性化合物,广泛应用于半导体、光学、化学等领域中。

TMAH是一种具有强碱性的清洗剂,它可以有效地去除半导体晶圆表面的杂质和残留物,保证晶圆表面的干净和光滑。此外,TMAH在氧化清洗过程中也能起到很好的作用。

TMAH也常用作显影剂,通常应用于半导体加工工艺中。在光刻过程中,光刻胶的部分区域被曝光,显影剂能够将未曝光的光刻胶部分移除,形成所需的图案。TMAH具有较高的显影速率,能够提高显影效率和加工效率

TMAH在电化学领域中也有应用。由于它具有较高的离子导电率和良好的稳定性,可以用作电解液。在某些电化学应用中,TMAH可以与金属离子形成稳定的络合物,提高电极反应的效率。

  1. 作为分析试剂,TMAH在分析化学领域中也有应用。由于它具有良好的溶解性和稳定性,可以作为分析试剂使用。在某些分析应用中,TMAH可以用于提取和分离目标化合物,提高分析的精度和灵敏度。

    因此检测THAM四甲基氢氧化铵浓度就成为必要手段。KRK笠原理化LQ-5Z-Multi,可以现场检测四甲基氢氧化铵。

长处

  1. 一个单位测量8个项目(硫酸、硝酸、盐酸、TMAH、烧碱、碳酸碱、氨水、水温)

  2. 单组分液体浓度可在%和g/L单位之间切换

  3. 耐酸碱的耐化学腐蚀传感器

  4. 自动温度补偿电极和仪器

  5. 任意量程校准功能

  6. IP66 级防水结构



  7. 名字用于单组分测量的多项目化学浓度计
    LQ-5Z-多功能
    测量范围碱性溶液
    TMAH:0.00~5.00%/0.0~50.0g/L        氢氧化钠:0.00~3.00%/0.0~30.0g/L
    碳酸钠:0.0~10.0%/0~100g/L
    氨水:0.00~2.00%/0.0~20.0g/L




    酸溶液 硫酸:0.00~2.00%/0.0~20.0g/L
    硝酸:0.00~2.00%/0.0~20.0g/L
    盐酸:0.00~2.00%/0.0~20.0g/L


    温度:0.00~40.00°C
    样品液体温度0.0~40.0°摄氏度
    测量方法电极法(水样测量)
    校准零跨度校准功能
    温度补偿自动温度补偿
    结构IP66防水结构
    权力具有
    自动断电功能的碱性电池(LR03×3)
    测量电极4C型,1m电缆标准
    外形尺寸仪身:38(H)×75(W)×180(D)mm 电极:φ17×180(L)mm
    重量仪器:约300g,电极:约50g
    标准配置仪器、电极、电池、使用说明书、保修卡



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