➢首先将激光干涉仪放置于所需测量机器的工作平台，让激光照射的方向大致与所测轴运动方向平行。
➢打开激光干涉仪下面的磁力座开关(如平台非铁件,需安装- ~铁板以便磁力座更好的吸附)。
➢将机器所测量轴移动至近处软限位位置。
➢将1D/3D 反射镜镜面朝向干涉仪方向并安装在机器运动状态下稳定不会晃动的零部件上。(反射镜与干涉仪均可作为运动测量t )
➢激光干涉仪与反射镜安装完毕后，检测测量轴在做全程运动时能有效的接收激光照射且不会碰到反射镜及机器的任意部件。
➢气象站材料温度传感器和空A气温度传感器以及大气压力传感器请放置于机器的工作台面上。
| 直线度测量 | — 应用良好的PSD技术：光电位置敏感检测器。它可将光敏面上的光点位置转化为电信号) |
| 垂直度测量 | — API XD激光干涉仪是通过PSD技术1:1进行直线度测量的，所以API干涉仪测两轴垂直度时只需一个五角棱镜既可， |
偏摆角/ 俯仰角测量 | — 良好的PSD技术来测量小角度: 当入射光经分光镜射到凸透镜上后，如果轴无角度变化，则光线经透镜聚在焦点上； |
| 功能型号 | 单位 | XD-1D一维型 | xd-3d三维型 | xd-5d三维型 | xd-6d三维型 | |||
| 标准型 | 精密型 | 标准型 | 精密型 | 标准型 | 精密型 | |||
| 线性测量范围 | m | 45 | 45 | 45 | 40 | 45 | 45 | |
| 线性精度 | ppm | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.2 | 0.5 | 0.2 | |
| 直线度测量精度 | un | N/A | N/A | （2.0+0.4/m） 或2% | （1.0+0.2/m） 或1% | （0.5+0.1/m） 或1% | （1.0+0.2/m） 或1% | （0.5+0.1/m） 或1% |
偏摆角及俯仰角精度
| 角秒 | N/A | N/A | N/A | （1.0+0.1/m） 或1% | （0.5+0.05/m） 或1% | （1.0+0.1/m） 或1% | （0.5+0.05/m） 或1% |
| 滚动角精度 | 角秒 | N/A | N/A | N/A | N/A | N/A | 1.0或1% | 0.5或1% |
| 垂直度测量精度 | 角秒 | N/A | N/A | （1.0+0.4/m） | （1.0+0.2/m） | （1.0+0.2/m） | （1.0+0.2/m） | （1.0+0.2/m） |
| 材料温度传感器精度 | ℃ | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| 空气温度传感器精度 | ℃ | 0.2 | 0.1 | 0.2 | 0.2 | 0.1 | 0.2 | 0.1 |
| 大气压力传感器精度 | mm Hg | 1.0 | 0.3 | 0.3 | 1.0 | 0.3 | 1.0 | 0.3 |
