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大流量气体质量流量计MFM及流量控制器MFC

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2024/2/5 11:32:11

在氢能、热处理,气体纯化等行业,可能会用到流量达到几千升每分钟甚至上万升每分钟的气体质量流量计或流量控制器

在较大流量领域内,要求精度较高的,大部分都是使用进口品牌的质量流量计,或者使用体积流量计,但体积流量计的精度较难保证。

气量较大,流量数值的范围就较大,传感器的测量线性度要求就较高,才能保证有效的精度,而对于气体质量流量控制器MFC,流量越大,对阀体的动作精准度要求就越高,如果阀体控制偏差稍大些,气量就会相差很多。

我司积累了多年的流体测控经验,吸取先进技术,开发出了在普通压力条件下(1般在1bar~30bar之间)的量程为每分钟几千升,至最大量程到2万升/min的气体质量流量计,并已有较多的实际应用。

性能参数简介如下:         

产品型号

ACU20FD

量程范围

500~3000SLM10000SLM

测控范围

流量计量程比100:1

准确度

±0.5%F.S

线性

±0.5%F.S

重复精度

±0.2%F.S

响应时间

流量计:<0.1s

流量控制器:<0.2s

数字量

RS232/485MODBUS协议

模拟量

05V4-20mA15V

供电

±15VDC24VDC

工作温度

050

工作压力

工作压差:0.3~0.5Mpa

最大耐压

3MPa/10MPa

电气连接

DB9, RJ11, 5.5×2.1电源快插

漏率

1×10-9Pa m³/S

温度系数

±0.025%F.S/

底座材质

不锈钢

密封材质

氟橡胶,氯丁橡胶,丁腈橡胶等

接头

卡套、VCR、法兰安装等


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