半导体晶圆测试探针台集成度高，功能实用，性价比的模块化探针台，该探针台系统包括显微成像模块、四维调整载物台、真空吸附系统、探针座、探针台体等。多用于晶圆测试、LED测试、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、太阳能电池片测试、材料电阻率测试以及用于搭建材料电学测试系统、光电探测器光电响应系统、光电Mapping测试系统等。
应用领域：
半导体材料光电检测、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、测量表面电阻率测试、精密仪器生产检测、航空航天实验等。
细节介绍：
1.显微镜位移装置：
集成高精度高稳定性手动位移台
XYZ行程50mm，精度1um
整体交叉滚珠导轨，高精度，高稳定性
整体材质航空铝合金
2.显微成像系统
可用于硅封装的内部观测和光谱特性分析，需要红外光源和红外摄像机
选用2X、5X、10X、20X、50X四种物镜，工作距离分别是34.6mm，45mm，34mm，30.8mm，20.5mm，鼻轮支架带五孔鼻轮
3.探针台台体：
底部整体铝合金面包板，表面喷砂氧化黑
两边半圆形探针架，可以放置最多6个探针座，方便放置探针卡
集成4路吸附开关，方便吸附
