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高通量计量和检测的污染控制智慧之道

仪景通光学科技(上海)有限公司 >> 进入商铺

2024/4/10 10:06:06

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在半导体、平板显示器 (FPD) 和有机发光二极管 (OLED) 制造业中,设计支持高通量检测(即,每次所需时间可处理的检测数量)的计量仪器是我们面临的一项共同挑战。
作为 OEM 光学器件和组件的供应商,Evident为仪器设计师提供高质量的显微镜装置,而这些仪器设计师会为检测、生产和研究领域开发光学设备。对于制造业中的质量检测,由于这些装置设计合理周到,还有助于提高产量(即所有产品中无缺陷产品的百分比)。
例如,集成到高通量检测设备中的显微镜装置通常需要直观的远程控制,以便所有技能水平的用户都可以轻松准确地执行检测。通过简单的控制,您可以调整焦距、样品观察位置、观察方法和放大倍率,以快速获得用于检测的图像。我们提供各种能够实现电动控制的装置,如电动Z轴驱动显微镜装置、电动照明器、电动分析仪、控制箱和手动开关。
我们还推出了一款带有真空功能 (U-D5BDREMC-VA) 的电动物镜转盘,其可以改善清洁度,同时提高速度和耐用性。对于并不熟悉该装置的人,物镜转盘(也称作物镜转塔)可以容纳不同放大率的物镜。通过旋转转盘,用户可以根据需要在不同的放大倍数下查看样品。
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电动物镜转盘

半导体、FPD 和 OLED 行业的污染控制

清洁度是半导体、FPD 和 OLED 制造行业的检查人员很关心的问题,这一点关系到是否可以生产出功能正常的产品。因此,应将检测设备用于受控环境,如洁净室。不允许灰尘从物镜转盘落到样品上,如半导体晶圆。即使是微小的灰尘也会污染晶圆,破坏其功能,进而影响产品产量。

我们带真空功能的电动物镜转盘 (U-D5BDREMC-VA) 使用负压吸力,可减少物镜转盘旋转时落下的细粒数量,并捕获润滑系统所用润滑脂产生的任何气体或灰尘。这种真空功能使我们的物镜转盘成为受控洁净室环境的理想选择。物镜转盘可用作半导体和FPD检测设备的内置显微镜模块。


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用于污染控制的带真空功能的物镜转盘

用于半导体晶圆检测及其他用途的各种物镜转盘

我们提供各种物镜转盘,这些物镜转盘可集成到检测、生产和研究领域的系统中。我们的选择包含手动和电动选项。

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您只需将一个物镜连接到支持多个物镜的系统,物镜适配器 (STM7-MMOBAD) 实现了灵活性。左侧:使用物镜适配器连接了一个物镜。中间:连接转盘前。右侧:使用物镜转盘连接了多个物镜。


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