适用于g线、i线抗蚀剂的芯片周边曝光用的UV-LED光源。
不仅可以安装在新装置上，而且从当前使用的UV灯光源更换也很方便。
通过搭载UV-LED，可降低耗电量、降低环境负荷、延长发光源寿命，并且不需要机械相关的消耗部件，从而大大降低客户的运行成本
| 紫外線発光源 | 紫外发光二极管 |
| 紫外線発光源寿命 | 20000小时（推定寿命驱动电流最大时）※紫外线强度为初期50%以上的点灯累计时间 |
| 照射ON/OFF功能 | UV-LED的ON/OFF控制（通过远程及手动控制点亮/熄灭） |
| 光量调整机能 | UV-LED的电流调整光量调整范围为20～100% |
| 外装材質 | 不锈钢 |
| 外形寸法 | 150毫米×200毫米×192毫米 |
