一、产品特点概述：
◆管状分流，不易堵塞
◆适用于各种低压和高压管道
◆预热时间短，零漂小，可靠性高
◆可以配有显示屏，可在显示屏上操控
◆也可以模拟量输入/输出，使用二次表或流量计算机控制和显示流量。
二、产品原理概述：
采用毛细管传热前后温度差量热法原理测量气体的质量流量，不受温度压力的影响。将传感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得的差值去驱动控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。
三、产品参数：
| 量程范围 | 2SCCM～6000SLM |
| 测控范围 | 流量计量程比100:1 控制器量程比50:1 |
| 准确度 | ±0.5%F.S |
| 线性 | ±0.5%F.S |
| 重复精度 | ±0.2%F.S |
| 响应时间 | 流量计：＜0.1s |
| 流量控制器：<0.2s | |
| 数字量 | RS232/485，MODBUS协议 |
| 模拟量 | 0～5V、4-20mA、1～5V |
| 供电 | ±15VDC，24VDC |
| 工作温度 | 0～50℃ |
| 工作压力 | 工作压降：<0.01Mpa |
| 最大耐压 | 3MPa/10MPa |
| 电气连接 | DB9孔 |
| 漏率 | 1×10-9Pa m3/S |
| 温度系数 | ±0.025%F.S/℃ |
| 底座材质 | 不锈钢 |
| 密封材质 | 氟橡胶，氯丁橡胶，丁腈橡胶，全氟醚 |
| 接头 | φ3，φ6，1/8"，1/4"... ... 按客户需求定制 |
