扫描电镜镀膜仪的设计特点是制样简单、放大倍数可调范围宽、图像分辨率高、景深大,尤其针对不导电材料进行镀膜处理。扫描电镜(SEM)是一种电子光学仪器,其工作原理主要是利用高能电子束在样品上进行扫描,激发出二次电子、背散射电子等物理信息,通过对这些信息的接收、放大和显示成像,获得测试样品的表面形貌。在扫描电镜的样品制备过程中,对于非导电或导电性较差的材料,通常需要在其表面镀上一层导电薄膜,以便能够有效地传输由电子束激发出的电荷,防止样品充电,从而获得更清晰的图像。
扫描电镜镀膜仪的功能是用于在样品表面镀上一层金属或其他导电材料的薄膜。
该设备具备多种功能特点,如离子溅射法镀膜、脉冲式碳丝蒸发镀膜以及冷冻干燥等。通过这些功能,可以实现对样品表面微区形貌、结构和组成的观察与分析,具有高分辨率、良好的景深和操作简单等优点。
如何使用扫描电镜镀膜仪观察非导电材料?
1.要使用扫描电镜观察非导电材料,镀膜是一个关键步骤。需要了解为什么非导电材料需要进行镀膜。扫描电镜工作时,利用高能电子束扫描样品,激发出二次电子等信号来获取图像。非导电样品若不进行镀膜,会积累电荷,导致电子束无法稳定,进而影响成像质量。
2.选择合适的镀膜材料也至关重要。例如,钨、铱、铬等材料粒度细,适合超高分辨率成像;而铂、钯、银等则具有可逆性的优点。根据不同的需求和样品特性选择最合适的镀膜材料是获得高质量图像的关键。
3.在实际操作中,等离子溅射镀膜是常用的方法之一。这种方法可以在非导电或导电性差的样品表面形成一层导电金属薄膜,从而消除或降低荷电现象,增强图像的对比度和清晰度。