垂直腔面发射激光器(VCSEL)是一种重要的光电器件，广泛应用于数据传输、光通信、传感器和激光显示等领域。VCSEL外延晶圆的性能很大程度上取决于其外延晶圆的品质。它的制备涉及到多种工艺，通过精细调整这些工艺参数，可以有效提高性能。以下是一些关键的工艺调整方法。
一、优化外延生长条件
外延生长是制备VCSEL外延晶圆的核心环节，涉及到基片的选择、温度控制、材料的生长速率等参数。通过优化这些参数，可以改善外延层的晶体质量，降低缺陷密度，从而提高VCSEL的光束质量和输出功率。例如，适当增加生长温度可以减少位错和孪晶等晶体缺陷。
二、精确控制掺杂浓度
掺杂浓度直接影响器件的电导率和注入效率。为了实现精确的掺杂控制，可以通过调整源物质的流量、掺杂时间以及退火处理来控制掺杂浓度。过高的掺杂浓度可能导致载流子复合加速，降低效率；而过低的掺杂浓度则会减弱电场，影响注入效率。
三、改进掩模和刻蚀工艺
在制作时，掩模和刻蚀工艺对于腔体结构的对称性和光波导的尺寸控制至关重要。通过改进掩模的设计和刻蚀工艺，可以提高腔体的对称性，从而减少横向模式的失真和提高单纵模的稳定性。此外，精确的刻蚀工艺还有助于降低阈值电流和提高光束质量。
四、优化光学和电学测试
在制程中，实时的光学和电学测试是不可少的。通过这些测试，可以及早发现和解决潜在的问题，从而提高晶圆的整体性能。例如，通过电致发光(EL)测试可以评估激光器的光输出特性，而光致发光(PL)测试则有助于分析载流子的复合效率。
五、细化热处理工艺
在外延生长过程中，适当的热处理对于消除内应力、改善晶体结构和提高材料的机械强度至关重要。通过细化热处理工艺，包括精确控制温度、时间和冷却速率，可以有效提高VCSEL外延晶圆的性能。
六、加强洁净室环境控制
洁净室环境对于保持外延晶圆的洁净度和防止污染物的侵入至关重要。提高洁净室的等级，严格控制空气中的颗粒物和化学物质，有助于减少外延层中的杂质和缺陷，从而提高VCSEL的性能。
