X射线衍射仪三个物理量：衍射谱上可以直接得到的有三个物理量，即衍射峰位置(2θ)、衍射峰强度(I)及衍射峰形状(f(x))。粉末衍射可解决的任何问题或可求得的任何结构参数一般都是以这三个物理量为基础的。
X射线衍射仪主要技术参数:一台好的仪器应能得到准确(测得的数值与其真值相符)并精确(测量重复性好)的2θ、I及f(x)，需 要考虑下列几个主要技术参数：
1、X射线发生器的稳定度：这不仅关系到所测衍射强度的准确可靠，而且关系到所有部件的准确和稳定。现代粉末衍射仪的光源稳定性一般在外电源变化10%以内，输出变化0.01%以内。
2、X射线管的功率：对于密封式X射线管，Cu靶一般为2kw，Ag、Mo、W等靶一般大于2kw，而对Co、Fe、Ni等靶则小于2kw。对于转靶，常用的有12kw和18kw。
3、单色器的效率：应不小于25%。
4、探测器的效率：视品种而异。
5、计数的线性范围：关系到强度测量的准确性，一般在 cps。有许多仪器附加了校正软件，宣称可以达到 cps。
6、衍射角(2θ)的测量准确度和精确度。
7、分辨率：常用的Si(311)衍射峰的半高宽来代表。对于一般实验室粉末衍射仪，此值约在0.05°~0.1°之间。
