电感测微仪是一种能够测量微小尺寸变化的精密测量仪器，它由主体和测头两部分组成，配上相应的测量装置(例如测量台架等)，能够完成各种精密测量，具有精度高、测量范围广、稳定性好等优点。因此，电感测微仪被广泛应用于精密机械制造业、 晶体管和集成电路制造业以及其他相关行业的精密长度测量。
一、电感测微仪的组成部分
1、测微仪主体
电感测微仪配合测量台架及专用测头等辅助装置，可将零件的实际表面与理想几何表面的差异转变为测头的位移并与电信号相对应,通过放大电信号而对零件的质量有直观**的反映。利用电感测微仪的这一-特性能够完成各种精密测量,比如检查工件的厚度、内径、外径、圆度、平行度、直线度、径向跳动等。
2、测量台架
电感测微仪灵敏度很高，其测头必须固定，工件在测量时也必须进行**定位。为实现这一要求，在测量中使用测量台架以固定测头并对工件进行定位。
3、专用测量头
为利用电感测微仪对锥面进行检测，需制作系列专用测量头配套使用。
定位杆起模拟内孔基准的作用，根据零件内孔公差，按一定间隔制成不同的尺寸。在保证定位杆尺寸精度的同时对定位杆的形位公差也必须进行严格控制，如外圆圆度、素线直线度等都必须控制在0.0005mm以内。定位杆右端的平面度必须控制在0.001mm以内，且该平面对定位杆轴线的垂直度也应该严格控制，因为该平面为测量面，与电感测微仪测头相接触，直接影响测量的精度。
定位测量头与定位杆夹角为45°，其在测量过程中始终与零件的锥面相接触，且与定位杆轴线的距离必须严格控制。为保证该距离符合要求，可以将定位测量头与定位杆使用细牙螺纹连接，以便于调整。同时必须保证定位测量头部分面积尽可能小，以保证其与零件的测量锥面为点接触。为使较尖的部分有一定的耐磨性，可对其进行淬火处理。
二、电感测微仪的主要测量方法
测量前先对零件的内孔进行测量，然后根据内孔的实际尺寸选择相应的定位杆，以保证定位杆与内孔的配合间隙在0.001mm以内。调整电感测微仪的倍率，把零件放置在工作台上，将定位杆插入零件的孔中并进行旋转，使定位测量头在零件的小锥面上旋转，观察电感测微仪指针的偏摆，根据相关计算公式验算即可得到数据。
以上就是电感测微仪有哪些组成部分及测量方法的相关内容介绍。通过上述内容可知，电感测微仪测量效果出众，各个组成部分都有具体作用，配合好的测量方法能够得到正确的数据，因此应用广泛。
