三坐标影像测量仪利用光学显微镜对待测物体进行自由倍率的放大成像，经过CCD摄像系统，将放大后的被测物体影像传输到与仪器相连接的计算机，用以进行非接触、高效检测各种复杂工件的几何量。
三坐标影像测量仪的优点包括不受仪器量程的影响、操作方便、可以编程测量以提高效率、位置定位可编程记忆以提高重复测量的精度、没有人为的绘图测量误差以提高测量结果的可靠性，适合产品尺寸多且复杂的产品测量。
操作步骤：
1、开机前准备
（1）环境控制：确保测量室内的温度、湿度等环境条件符合设备要求，通常温度应控制在20±2°C，湿度在40%-60%之间，以保持测量精度。
（2）设备清洁：使用无尘布蘸取微量酒精擦洗X、Y、Z轴导轨及操作台面，确保设备表面无杂物和污渍。注意，擦洗导轨时应单向进行，避免来回擦拭，光栅尺部位不能沾有水迹。
2、开机与软件启动
（1）接通电源：将三坐标影像测量仪的电源线插入电源插座，打开电源开关，等待设备自检完毕。
（2）启动软件：在电脑上启动设备公司提供的测量软件，输入用户名和密码，完成登陆操作。确保软件与设备正常通信，并等待系统加载完成。
3、测量准备
（1）放置工件：将待测量的零件或机械装置放置在设备工作平台上，并按照设备厂商提供的操作手册，调整设备工作区域。
（2）建立坐标系：在测量机软件中，通过标定操作建立坐标系。标定操作可以校正测量机的误差，确保测量结果的准确性。
（3）设定测量参数：根据需要设定测量参数，包括测量方式（如点测量、线测量、面测量等）、测量精度、扫描速度等。
4、进行测量
（1）创建测量程序：根据待测量对象的特点，创建相应的测量程序。在程序中设置好测量点的数量和位置等参数。
（2）开始测量：点击“测量”按钮开始进行测量。测量过程中，设备会自动拍摄照片并采集数据。操作人员需密切关注测量数据和结果，确保测量过程顺利进行。
5、数据处理与保存
（1）检查测量结果：测量完成后，系统将自动计算出测量结果，并以图表及数据形式展现在电脑屏幕上。用户可根据需要进行数据的优化和调整。
（2）保存测量数据：将测量数据保存到本地硬盘或移动存储设备中。同时，建议为每组测量数据建立相应的命名规则以方便查询和管理。
6、关机与清理
（1）关闭软件与设备：在测量操作完成后，需要按照与开机相反的顺序关闭软件和设备。关闭测量软件及计算机，然后关闭控制盒电源，关闭气阀。
（2）清洁设备：对仪器进行适当的清理，包括擦拭导轨、操作台面等，以保持设备的整洁和精度。
保养方法：
1、仪器应放在清洁干燥的室内(室温20℃±5℃，湿度低于60%)，避免光学零件表面污损、金属零件生锈、尘埃杂物落入运动导轨，影响仪器性能。
2、工作台玻璃及油漆表面脏了，可以用中性清洁剂与清水擦拭干净。绝不能用有机溶剂擦拭油漆表面，否则，会使油漆表面失去光泽。
3、软件已对工作台与光学尺的误差进行了准确补偿，请勿自行更改。否则，会产生错误的测量结果。
4、仪器的电气接插件、一般不要拔下，如已拔掉，则必须按标记正确插回并拧紧螺丝。不正确的接插、轻则影响仪器功能，重则可能损坏系统。
5、仪器使用完毕，工作面应随时擦拭干净，再罩上防尘套。
