X射线荧光光谱仪是一种利用X射线照射物质后产生荧光现象的仪器，可以用于元素分析和表面化学分析。其工作原理如下：X射线照射待检样品表面，激发原子内部电子跃迁，产生特定波长的荧光辐射，荧光辐射被探测器检测并转化成电信号，再经过信号处理装置分析、处理和记录，通过荧光辉谱仪分析荧光发射的波长和强度，可以确定样品中的元素种类和含量。X射线荧光光谱仪具有高灵敏度、高准确度和非破坏性的特点，广泛应用于材料科学、地质学、金属分析等领域。
X荧光光谱仪(XRF)由激发源(X射线管)和探测系统构成。X射线管产生入射X射线(一次X射线)，激发被测样品，产生X荧光(二次X射线)，探测器对X荧光进行检测。
XRF用X光或其他激发源照射待分析样品，样品中的元素之内层电子被击出后，造成核外电子的跃迁，在被激发的电子返回基态的时候，会放射出特征X光；不同的元素会放射出各自的特征X光，具有不同的能量或波长特性。检测器(Detector)接受这些X光，仪器软件系统将其转为对应的信号。这一现象广泛用于元素分析和化学分析，特别是在研究金属，玻璃，陶瓷和建筑材料，以及在地球化学研究、法医学、电子产品进料品管(EURoHS)和考古学等领域，在某种程度上与原子吸收光谱仪互补，减少工厂附设的品管实验室之分析人力投入。
X射线荧光光谱仪的产品特点：
作界面简单，测量方便，快捷
无损检测，在无标准样品时亦可准确分析
采用139±5eV的高精度分辨率，保证数据测量的精度
能够检测卤族元素的准确含量
同置高清晰摄像头，可帮助客户判断测量的部位
电制冷型的X光管配合光管保养程序，散热更好，并能有效的延长X光管的寿命
外观高贵大方，加大仪器内部空间，仪器内部通风性优，并有效屏蔽电磁干扰
采用双峰位快速自动校准。
自动谱线识别、多元素同时定性定量分析、让用户方便认识分析样品的组成的定量分析算法，包含FP法、检量线法、经验系数法、理论系数法、神经网络算法等，客户可根据自已的要求进行二次开发，自行开发任意多个分析方法，设置了自动安全防护开关，以确保用户安全使用。
