透射扫描电子显微镜由透射电子显微镜(TEM)发展而来，指透射电子显微镜中有扫描附件者，尤其是指采用场发射电子枪作成的扫描透射电子显微镜。扫描透射电子显微分析是综合了扫描和普通透射电子分析的原理和特点而出现的一种新型分析方式，其空间分辨率可达亚埃米级，可在纳米和原子尺度上对材料微结构与精细化学组分的表征与分析。在冶金、材料、环境科学、生物科学等领域具有很大的应用潜力。
透射扫描电子显微镜使用高亮度的冷电子光源，汇聚成极细的电子探针后对样品进行扫描，然后收集穿过样品的电子，同时在样品正方装有电子能量分析器。
该产品的分辨率较高，理论上可达0.1～0.2nm，实际分辨力可达0.2nm，远超过光学显微镜的分辨率(约200纳米)。其放大倍数可高可达近百万倍，使得研究人员能够观察到物质的微观结构，包括晶体结构、原子排列和缺陷等细节信息。
该产品具有分辨率高、可与其他技术联用的优点，在材料学、物理、化学和生物学等领域有着广泛地应用。材料的微观结构对材料的力学、光学、电学等物理化学性质起着决定性作用。
