射频探针台是一种高精度的设备，主要用于对芯片进行科研分析、抽查测试等用途。它的应用主要是使用探针直接测量晶圆或裸芯片的微波射频参数。通过使用射频探针，我们能够在晶片层面上准确测量射频组件的特性，从而缩短研发时间，降低新产品开发成本。探针台可以将电探针、光学探针或射频探针放置在硅晶片上，从而可以与测试仪器/半导体测试系统配合来测试芯片/半导体器件。这些测试可以很简单，例如连续性或隔离检查，也可以很复杂，包括微电路的完整功能测试。可以在将晶圆锯成单个管芯之前或之后进行测试。在晶圆级别的测试允许制造商在生产过程中多次测试芯片器件，这可以提供有关哪些工艺步骤将缺陷引入最终产品的信息。
使用方法：
1.将样品载入真空卡盘，开启真空阀门控制开关，使样品安全且牢固地吸附在卡盘上。
2.使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台，在显微镜低倍物镜聚焦下看清楚样品。
3.将射频探针连接到待测半导体器件的Pad上，另一侧通过同轴电缆连接。
4.通过计算机控制射频探针的运动，实现对样品的精准测量。
每次使用前需准备好本次测试的DUT和相应的探针与电缆，确认打开压缩空气、真空、电源等后，再按下电源键开机。待主机启动完毕后预热1-2分钟，然后进行初始化。
