二合一超快SEM解决方案通过在FE枪和聚光透镜之间引入脉冲发生器,并利用皮秒级射频电激发电子束,从而实现了超高时间和空间分辨的扫描成像。此外,该解决方案通常还结合了飞秒激光泵浦样品联动技术,进一步增强了其性能。
核心特点:
百皮秒级射频电激发电子束:通过使用脉冲发生器,能够在皮秒级的时间内激发电子束,从而实现对样品的超快表征。
飞秒激光泵浦样品联动:结合飞秒激光技术,实现了对样品的快速、准确的联动分析。
超高时间和空间分辨:由于采用了上述技术,二合一超快SEM解决方案能够在保持原始扫描电镜光束质量的同时,实现超高时间和空间分辨的扫描成像。
保持原始固有空间分辨率:在电激发下,该解决方案能够保持SEM的原始固有空间分辨率,确保成像的清晰度和准确性。
二合一超快SEM解决方案在汽车、微电子、药品和医疗器械等行业具有广泛的应用前景。特别是在需要快速、准确地对样品进行清洁度分析、成分分析和微结构表征的场合,该解决方案能够显著提高工作效率和准确性。