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日本KANOMAX加野超小型粒子计数器3950-00

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2024/6/15 16:41:41

致轻、致小,实现了嵌入组装在半导体制造等装置中

 2.83L/min,同时测试0.1、0.3μm微小粒子

 4.3英寸彩色触摸显示屏

 可使用附带软件在PC上显示测试数据

 设有RS-485、Ethernet、USB通讯接口

品    名尘埃粒子计数器
型    号3950-00
粒子测量测试方法光散射法
粒径通道2粒径(0.1、0.3μm)
额定流量0.1CFM(2.83L/分)、精度±5%、(符合JIS B9921和ISO21501-4)
测量时间6秒~99分59秒(1次测量时间)
间隔时间6秒~99分59秒(测量周期)
采样次数1~999次 或 连续测试
地点设定99个地点
测量方式重复、单次、连续、计算
测量数据显示时间1~10秒
测量数据显示累计值∑ 差分值△及柱形图
最大可测浓度10,000,000个/m³
计数效率50±20%(相对于最小可测粒径附近的PSL粒子)
100±10%(相对于最小可测粒径的1.5倍~2倍的PSL粒子)
(符合JIS B9921 和 ISO21501-4)
伪 计 数<1个/35min
粒径分辨率15%以下(相对0.3μm的PSL粒子)
(符合JIS B9921 和 ISO21501-4)
气    源内置泵
显示器4.3英寸彩色液晶 触摸屏
通迅功能本    体USB(Host用于打印机、USB存储;Device用于与PC链接)
Ethernet、RS485(9600、19200、38400 baud)
数据存储媒    体内存
数量、格式最大10,000个、CSV格式
显示语言英文、日语
电   源AC100~240V
使用环境本    体15~35℃、0~85%RH (无结露)
外形尺寸W150 X H163 X D228 mm
重    量3.4kg

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