陶瓷材料是指用天然或合成化合物经过成形和高温烧结制成的一类无机非金属材料。氧化铝陶瓷主要组成物为Al₂O₃，一般含量大于45%。氧化铝陶瓷具有各种优良的性能。用途广泛，可用作坩埚、发动机火花塞、高温耐火材料、热电偶套管、密封环等，也可作刀具和模具。但在利用透射电镜观察氧化铝陶瓷的晶粒形貌时，陶瓷的脆性和硬度给制样带来了一定的困难，而离子减薄对比机械减薄、超薄切片等方法可以有效避免样品破碎，因此本文采用离子减薄仪对氧化铝陶瓷进行透射电镜制样。
本文使用了鼎竑离子减薄仪GU-AI9000对氧化铝陶瓷进行减薄。
电压：7kv
电流：0.4mA
减薄时间：2.5h
设定灰度值：235
破孔值：6
样品与离子枪角度：12°
将直径约10 mm的氧化铝陶瓷片使用机械冲钻成3 mm直径的圆片，过程中尽量稳定防止破碎，后使用不同的砂纸和抛光布进行机械研磨抛光，使其减薄至20 µm。氧化铝陶瓷片经过机械减薄后的示意图如图1。
图1 机械减薄后示意图
陶瓷片经过减薄后的低倍电镜图，如图2。
图2 陶瓷片低倍电镜图
经过观察，陶瓷片穿孔区域周围存在小于200纳米的薄区可以被透射电镜电子束穿透观察。
减薄后的陶瓷片高倍透射电镜图，如图3
图3 陶瓷片高倍透射电镜图
图片可以清晰观察氧化铝陶瓷片的晶粒形貌，衬度明显，可以说明陶瓷片减薄成功。
本文利用鼎竑离子减薄仪GU-AI9000对氧化铝陶瓷进行了减薄。该仪器可以高质量完成对氧化铝陶瓷片的减薄，使其拥有足够的薄区上透射电镜拍摄，满足对氧化铝陶瓷减薄的要求。同时该方法参数也可对其他材料样品减薄提供参考。
鼎竑GU-AI9000具有无磁聚集离子源、破孔自动终止等技术优势，可满足电镜制样前处理需求，是透射电镜的专用制样设备。如果您对我们的产品感兴趣，可扫描下方二维码添加客服，欢迎前来咨询沟通。
