测量显微镜是一种尺寸测量装置，可根据使用显微镜放大和观察的图像来测量尺寸。
它结合了具有精确放大倍率的光学显微镜、用于比较测量的模板以及用于在平面上精确移动测量工件的XY 平台。使用测量显微镜可以进行非接触式测量，从而可以在不损坏工件的情况下观察轮廓和表面。
测量显微镜通常使用远心光学系统。近年来，一些型号在光学头中采用了无限远校正光学系统，可以进行微分干涉观察和简单的偏振观察。
测量显微镜用于相对较小的机械零件、电子设备零件和半导体产品的生产和质量控制。该测量装置适用于测量小零件和不使用显微镜难以测量的精细零件。
除了测量尺寸外，它还可以用于使用偏振光和微分干涉进行观察，例如检测半导体基板上的划痕。由于放大倍率的准确性，通过使用模板进行比较测量来确定产品是否在公差范围内，对于简单检查也很有用。
测量显微镜既可以用作测量装置，也可以用作显微镜，并且一台装置可以用于多种用途。
测量显微镜可按照明方式分类。
透射照明是一种透射照明，它允许光线穿过以捕捉物体的轮廓并测量其尺寸。用于测量轮廓。
垂直反射光将光垂直照射到物体表面，并利用反射光观察表面。垂直反射照明不仅可以测量尺寸，还可以观察表面形状。
斜反射照明是一种将光线倾斜地照射到被测物体表面的照明方法。其特点是强调图像的对比度，因此可以获得三维且清晰的图像。然而，测量尺寸时可能会出现错误。
