低温泵：
在真空中形成极低温(10-15K)的冷却表面(冷凝板)，与冷凝板接触的大部分气体分子(N2、Ar等)将在冷凝板上凝结。氢气、氦气等平衡蒸气压特别高的气体分子通过被黏附在冷凝板表面的吸附剂吸附的方式排出。而平衡气压较低的气体(大部分为水蒸气)则在冷却至 80K的挡板上凝结,提高冷凝板的排气能力。
对于冷凝板(10~15K)、挡板及屏蔽筒(75~80K)的冷却，则通过氦气冷冻机系统(由冷冻机和压缩机构成)来实现。
低温泵能制造出10-7--10-9Pa（10-9--10-11Torr）以下的纯净真空环境。并且在10-1--10-8Pa（10-3--10-10Torr）的压力范围内持有快速排气速度。
特点：
· 能创造出其他真空泵不能创造的极纯净的真空环境
· 能排出所有种类气体
· 因不需要液氮、运行成本低廉
· 能对任意方向进行安装
· 设计紧凑,轻便
· 操作简单
· 排气速度远远高于离子泵、涡轮分子泵
用途：
· 蒸发镀膜设备
· 溅射镀膜设备
· 离子注入设备
· 半导体制造设备
· 加速器
· 核聚变设备
· 表面分析设备
· 空间模拟室 (space chamber)
· 其他要求高纯净真空、高真空的设备
使用优势：
· 提高生产效率：高效节能的制冷技术使得设备在运行过程中能够更快地达到所需的低温环境，从而提高生产效率。
· 保证产品质量：稳定可靠的性能使得设备在运行过程中能够保持恒定的低温环境，保证产品的质量和稳定性。
· 降低运行成本：高效节能的技术和稳定的性能使得设备的能耗更低，故障率更低，从而降低运行成本。
