原理：利用高压电离的方法，使空气中的部分氧气分解聚合为臭氧。臭氧发生器的核心技术和设备是发生器中的放电管，采用微间隙介质阻挡放电设计，系统运行电压为6-8千伏。高频输出经升压系统后产生正弦波高压电，经电缆与发生器相连，在高频高压的作用下，放电间隙产生冷态等离子体放电生成臭氧。臭氧(化学分子式O3)又名三原子氧，因其有类似鱼腥味的臭味而得名。当含氧气的气体通过两个电极间的放电间隙时，部分氧气分子(O2)会被转化为臭氧(O3)从而实现臭氧制备。
当高压电极上带有变化的高电压时，电极之间的放电间隙处会产生微放电，氧气分子被分解为自由态的氧原子O，部分自由态的氧原子与未分解的氧气分子重新结合生成臭氧(O3)即 O+O2=O3，被称为“电晕放电”或“无声放电”。目前，臭氧已广泛用于水处理、空气净化、食品加工、医疗、医药、水产养殖等领域，臭氧作为强氧化剂、催化剂和精制剂而应用于化工、石油、造纸、纺织和制药、香料工业。臭氧发生器是用于制取臭氧气体(O3)的装置。臭氧易于分解无法储存，需现场制取现场使用(特殊的情况下可进行短时间的储存)，所以凡是能用到臭氧的场所均需使用臭氧发生器。臭氧发生器在饮用水，污水，工业氧化，，食品加工和保鲜，医药合成，空间灭菌等领域广泛应用。臭氧发生器产生的臭氧气体可以直接利用，也可以通过混合装置和液体混合参与反应。
脱硫就是脱去烟气中的SO2(二氧化硫)，脱硝主要是脱去烟气中的NOx(氮氧化物)，这两种物质进入大气会形成酸雨，酸雨对人类的危害非常大，所以现在国家一直在提倡环保，以煤炭为燃料的烟气都含有这些物质，特别是火电厂，现在建火电厂都要同时建设脱硫，脱硝现在国家还没有开始强制上。排放的二氧化硫已接近全社会排放总量的50%这一特点决定了控制燃煤排放的二氧化硫是我国二氧化硫污染控制的重点，控制二氧化硫排放量又是控制燃煤二氧化硫污染的主要突破口。
