臭氧发生器制造臭氧的原料是氧气，而空气中氧气的含量只有21%，这样产生的臭氧浓度比较低，还会衍生氮化物。
目前世界各国在用大功率的臭氧发生器制造臭氧时，几乎都是用“纯氧”，浓度在90%左右就可以了。而要用到浓度为90%的臭氧，那么就需要一些外置的方式。
目前有三种方式供臭氧发生器作为氧源使用：一、液态氧、二、瓶装氧、三、制氧机直接供氧。这三种方式相对比来看，制氧机直接供氧，也就是臭氧外置制氧机可以为臭氧发生器提供高质量的富氧气原料，以富氧为原料的臭氧发生器比以压缩空气为原料的发生器功耗小，提供的臭氧浓度高。可避免以空气为原料高频高压放电的方式产生臭氧时衍生的氮氧化物超标的问题。使用外置制氧机直接供氧，不受当地条件的限制，随开随用，应用方便，虽然一次性投资大，但整套系统占地面积小，制氧成本低。
