大部分的质量流量计，流量控制器的耐压程度在3Mpa或10Mpa左右，但是在一些应用中需要更高的压力，例如一些高压缩气体，高反应釜。。。经过我们多年的经验及开发测试，目前，气体质量流量计、流量控制器可以做到40~60Mpa的高耐压性能。具体参数如下：
量程范围：2SCCM～100SLM
测控范围：控制器阀控范围50:1（流量计量程比100:1）
准确度： ±0.5%F.S（满量程）
线性： ±0.25%F.S
重复精度： ±0.2%F.S
响应时间： <0.2s <0.1s
温度系数： ±0.025%F.S/℃
工作温度： 0～50℃
预热时间： 30S可用，5Min达到最佳状态
工作压力： 工作压差：0.1~0.5Mpa(高压差可定制） 工作压降：<0.01Mpa
最大耐压： 20MPa~60Mpa
漏率：1 x 10 Pa m3/S
底座材质：不锈钢
接头： φ8，φ10，φ12，卡套或法兰安装
密封材质： 氟橡胶，氯丁橡胶，丁腈橡胶，金属密封
外壳防护等级： IP40
安装位置： 水平安装
电气连接： DB9孔, RJ11, 5.5×2.1电源快插
显示状态： 带液晶显示、不带液晶显示
数字量： RS232/485，MODBUS协议，PROFIBUS协议
模拟量： 0～5V、4-20mA、1～5V
供电： 24VDC、±15VDC
