SRM 2000 高分辨率 X 射线衍射校准标准
SRM Number（货号）：SRM 2000
Description：Calibration Standard for High-Resolution X-Ray Diffraction
描述：高分辨率 X 射线衍射校准标准
Unit of Issue（产品规格）：1 block
该标准参考材料 （SRM） 为高分辨率 X 射线衍射 （HRXRD） 社区提供了国际单位制 （SI） [1] 可追溯的 Si （220） 透射 d 间距、表面到晶体平面晶圆误切和表面到 Si （004） 反射中的布拉格角作为我们的参考波长。SRM 2000 的一个单元由 25 mm × 25 mm × 0.725 mm 双抛光 （100） 取向的单晶 Si 试样组成，标称 Si0.85Ge0.15 外延层和 25 nm Si 帽。这些认证值可用于校准HRXRD仪器。
SRM 2000 高分辨率 X 射线衍射校准标准
储存和处理：外延层可能会损坏或晶圆受到机械拉伤;因此，应避免与SRM的前表面接触。要去除表面污染，请使用过滤后的氮气。
峰分布：测得的衍射峰明显不对称。支持性测量表明，这种不对称性可能并不完quan是由于仪器效应造成的，而是部分由于 SRM 2000 原料的特性。因此，使用分离式 Pearson VII 轮廓来拟合和估计峰位置，并推荐用于确定峰位置以进行校准。由于不对称性对轮廓位置确定的影响不同，使用另一个轮廓函数可能会导致系统性偏差。
部分NIST标准物质产品目录（仅列举小部分）：
| RM 8785 | 空气颗粒物 PM2.5标准品 |
| SRM 1869 | 婴儿/成人营养配方 II |
| SRM 2274 | 2,2,4-三甲基戊烷中的多氯联苯同系物 |
| SRM C1115 | 商业青铜A（块） |
| SRM 2703 | 用于固体取样（小样品）分析技术的沉积物 |
| SRM 1765 | 低合金钢 |
| SRM 2383a | 婴儿食品复合材料 |
| SRM 2687a | 硅酸盐水泥熟料 |
| SRM 1877 | 氧化铍粉末 |
| SRM 1111 | 红黄铜标准 |
| SRM 126c | 高镍钢（标称质量分数 36 % Ni）（片状） |
| SRM 3077 | 变压器油中的多溴联苯（Aroclor 1242) |
| SRM 2897a | 乙醇-水溶液（标称质量分数 2 %） |
| SRM 2973 | 人血清中维生素D代谢物 |
| SRM 2385 | 菠菜泥 |
| SRM 3451 | 低温塞贝克系数标准（10 K 至 390 K） |
