等离子去胶机是一种干法去胶技术，它利用等离子体中的高能粒子对光刻胶进行轰击，使其发生化学反应和物理剥离，从而实现去除光刻胶的目的。相比于化学去胶，等离子去胶机具有以下优势：
1、高效性：去胶速度较快，可以在较短的时间内完成大量样品的处理。而化学去胶通常需要较长的时间才能去除光刻胶。
2、环保性：不需要使用有害的化学试剂，因此在处理过程中不会产生有毒废物，对环境的影响较小。而化学去胶需要使用有机溶剂，如丙酮、异丙醇等，这些溶剂对环境和操作人员的健康都有一定的危害。
3、可控性：也可以通过调节等离子体的参数(如功率、气压、气体种类等)来控制去胶的速度和效果，实现对去胶过程的精确控制。而化学去胶的过程受到多种因素的影响，如溶剂的种类、浓度、温度等，其可控性相对较差。
4、兼容性：适用于各种类型的光刻胶，包括正胶、负胶、厚胶等，且对底层材料的损伤较小。而化学去胶可能对某些光刻胶或底层材料产生不良影响，如溶解、膨胀等。
5、工艺集成：还可以与其他等离子体工艺(如等离子体清洗、等离子体蚀刻等)集成在同一设备中，实现全自动化生产，提高生产效率。而化学去胶通常需要单独的设备和工艺步骤，增加了生产的复杂性。
然而，等离子去胶机也存在一些局限性，如设备成本较高、对操作人员的技能要求较高等。因此，在选择去胶方法时，需要根据实际需求和条件综合考虑。
