超声波扫描显微镜是利用不同材料对超声波声阻抗不同、对声波的吸收和反射程度不同，精准探测半导体、元器件等目标物的内部结构；能将采集的数据迅速转变为可用信息，同时还具备多种分析功能，可以帮助识别各种缺陷，并确定缺陷的严重程度。
超声波扫描显微镜通过发射高频超声波传递到样品内部，在经过两种不同材质之间界面时，由于不同材质的声阻抗不同，对声波的吸收和反射程度的不同，进而采集的反射或者穿透的超声波能量信息或者相位信息的变化来检查样品内部出现的分层、裂缝或者空洞等缺陷。
该产品可非破坏性或芯片内部结构；对粘结层面非常敏感；能穿透大多数的材料；浅表层结构的分析；材料力学性能的检测。可分层扫描、多层扫描，实施直观的图像及分析，缺陷的测量及缺陷面积和数量统计，可检测各种缺陷(裂纹、分层、夹杂物、附着物、空洞、孔洞等)。
超声波扫描显微镜能够提供高分辨率的显微结构信息，对于科研和工业领域具有重要意义。
