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巴鲁夫传感器解决方案丨在载具传送中实现非接触式精确定位的理想之选

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2024/7/12 12:08:12


在全球数字化的浪潮中,半导体行业扮演着至关重要的角色。并且随着5G、物联网、人工智能等技术的快速发展,对高性能半导体芯片的需求也在日益增长。


在半导体制造过程中,每一个环节都必须达到ji高的精度和可靠性,以满足日益严苛的行业标准。载具传送作为保障晶圆在生产过程中安全、高效移动的关键步骤,其创新和优化对于整个半导体生产具有重要意义。



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巴鲁夫为您提供高效且可靠的

载具传送解决方案

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精确与高效

无论是FOUP和SMIF晶圆传送盒,巴鲁夫支持载具的精确和高效传送。系统能够全自动监测AMHS的移动,无论是在短距离的RGV应用还是长距离的OHV应用中,都表现出ji高的可靠性。



非接触式定位

巴鲁夫的非接触式系统提供了精确的定位能力,确保晶圆能够安全、可靠地传送至每个工序,有效避免了擦伤和裂口的问题。



可追溯性

系统还具备强大的可追溯性,能够实时记录载具的位置,确保生产过程的透明度和追踪能力。




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接下来让我们一起来看看巴鲁夫产品在载具传送环节的具体应用:

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检测载具是否存在

Balluff Micromote®光学传感器头


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如果要检测装载埠上是否有载架,巴鲁夫的对射型和漫反射型传感器以其扁平构造巧妙集成于装载埠,能够节省空间并进行精准检测,确保机器只在载具停靠时启动,优化生产流程。


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产品亮点


1

极为扁平的构造

2

节省空间

3

单独聚焦





可靠跟踪载具

BVS视觉传感器


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为了能够跟踪AMHS系统中的载具,您可以为载具配置二维码。我们的BVS视觉传感器能够识读数据矩阵码、二维码和条形码,从而能够侦测到输送载具的每一个动作,确保您随时掌握输送载具的动态。

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产品亮点


1

易于集成,操作简单直观

2

所有数据均集中存储调用

3

将大量数据与过程网络分离,zuui大程度减少了数据负荷




持续检测AMHS位置

BML磁栅编码系统


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采用我们的BML磁编码位置测量系统,您可以实现对输送车位置的精准监测。这些传感器可以根据您的特定测量需求进行定制配置,具有高度精确性,确保您的载具顺畅且准确地传送至装载架。

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产品亮点


1

非接触式测量原理,即无磨损

2

极其可靠,高度精确

3

用途多样,磁条最长可达48m,可根据需求裁剪




检测AMHS终端位置

巴鲁夫BES电感式传感器


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我们为您监测载具输送车的终端位置提供了众多选择。根据您的具体需求,我们的电感式、电容式或光电式传感器能够确认AMHS位置是否正确,您的载具是否精确定位在装载架上。


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产品亮点


1

非接触式,无磨损

2

技术多样性,高效应对各种需求


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半导体自动化手巴鲁夫

半导体行业的发展过程中,巴鲁夫以其前瞻性的技术为您的生产提供坚实支撑。我们致力于提供创新的自动化解决方案,通过集成先进的传感器、监测技术和智能控制,优化您的生产流程,提升产品质量并降低成本,助力您应对半导体生产过程中的各种挑战。


同时我们根据您的需求提供定制化的解决方案。无论是提高生产效率、优化资源配置,还是增强生产过程的透明度和可追溯性,巴鲁夫都能为您提供全面的支持。携手巴鲁夫,开启卓、越之旅,立即探索我们的技术,让创新yin领您的生产。


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